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标题
Electron trapping: a mechanism for acid production in extreme ultraviolet photoresists
相关领域
极紫外光刻 电子 极端紫外线 化学 光化学 次级电子 紫外线 俘获 产量（工程） 材料科学 光学 纳米技术 光电子学 物理 生物 量子力学 生态学 冶金 激光器
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.17.3.033501
DOI
10.1117/1.jmm.17.3.033501 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：Steven Grzeskowiak; Jake Kaminsky; Sean Gibbons; Amrit Narasimhan; Robert L. Brainard; et al
出版日期：2018-07-23
求助人
柯彦 在 2025-10-12 16:54:29 发布自江苏，悬赏 20 积分
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