SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Pulsed Plasma EUV Sources
极紫外光刻
极端紫外线
等离子体
波长
光学
平版印刷术
紫外线
材料科学
物理
光子
光电子学
核物理学
激光器
作者
K. Bergmann,
Reinhard Noll
出处
期刊：RWTHedition
日期：2023-10-04
卷期号：: 891-902
链接
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1007/978-3-030-98323-9_42
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
林大壮
发布了新的
文献求助
10
刚刚
孤僻
发布了新的
文献求助
10
1秒前
科目三
上传了
应助文件
3秒前
yht18893912614
发布了新的
文献求助
10
4秒前
AEGUO
完成签到，获得积分
10
5秒前
共享精神
的
应助
被
旦堡
采纳，获得
10
5秒前
酷波er
上传了
应助文件
6秒前
ding
的
应助
被
静宝
采纳，获得
10
6秒前
小马甲
的
应助
被
冬川十里春
采纳，获得
10
6秒前
CodeCraft
的
应助
被
Wdw2236
采纳，获得
10
6秒前
Copyright
的
应助
被
fufufuf
采纳，获得
10
7秒前
CipherSage
上传了
应助文件
8秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
太阳当空照
采纳，获得
10
8秒前
LSN
的
应助
被
tianshicanyi
采纳，获得
10
9秒前
星星赶路
完成签到，获得积分
10
9秒前
qizhixu
发布了新的
文献求助
10
10秒前
英姑
的
应助
被
孤僻
采纳，获得
10
11秒前
婷婷
发布了新的
文献求助
10
12秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
13秒前
挽风风风风
发布了新的
文献求助
10
15秒前
Wdw2236
发布了新的
文献求助
10
16秒前
CipherSage
上传了
应助文件
17秒前
无花果
上传了
应助文件
17秒前
妮妮
完成签到
，获得积分
10
18秒前
我是老大
的
应助
被
陈熙
采纳，获得
10
18秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
11111111
采纳，获得
10
18秒前
搜集达人
的
应助
被
欣欣向荣
采纳，获得
10
19秒前
呆呆
完成签到
，获得积分
10
20秒前
饱满如风
完成签到，获得积分
10
20秒前
汉堡包
上传了
应助文件
20秒前
星空上的奥利奥
发布了新的
文献求助
10
21秒前
李健
上传了
应助文件
21秒前
赘婿
的
应助
被
Wdw2236
采纳，获得
10
21秒前
饱满如风
发布了新的
文献求助
10
22秒前
科研通AI6.3
的
应助
被
威武的绿兰
采纳，获得
10
24秒前
pcg
完成签到，获得积分
10
24秒前
田様
的
应助
被
激昂的如柏
采纳，获得
10
24秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
25秒前
阿银
发布了新的
文献求助
10
25秒前
李骆
的
应助
被
Joif
采纳，获得
10
25秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
48V Low-voltage Power Distribution Network (PDN) Architecture Industry Report, 2024
800
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition
700
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
610
适配Micro-LED色转换的高兼容性量子点负性光刻胶制备与工艺研究
500
Direct and Iterative Linear System Solvers
500
Vander's Renal Physiology第10版
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7309595
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8926681
关于积分的说明
18919149
捐赠科研通
6971691
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3212979
关于科研通互助平台的介绍
2381426
邀请新用户注册赠送积分活动
2190908
今日热心研友
cdercder
429
3980
Kao
345
3608
Samuel
294
4090
yjh123
201
2700
Copyright
152
2050
arniu2008
101
2370
行走的荷尔蒙
83
2310
OK
2990
Nexus
78
1700
sagitar
69
1740
研友_ZbM2qn
111
1050
学术文献互助
2160
悦耳白山
142
730
无极微光
2020
GG
82
840
科研狗
1650
liuzhuohao
85
710
蓝天
76
780
GingerF
1360
初景
43
930
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
Kao
Samuel
yjh123
Copyright
arniu2008
行走的荷尔蒙
OK
Nexus
sagitar
研友_ZbM2qn
学术文献互助
悦耳白山
无极微光
GG
科研狗
liuzhuohao
蓝天
GingerF
初景
皖公网安备34019202002308
