KINETICS OF THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON NITRIDE-FROM Si(CH3)4/ NH3/H2 GAS MIXTURES

已完结

文献求助详情

标题	[高分] KINETICS OF THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON NITRIDE-FROM Si(CH3)4/ NH3/H2 GAS MIXTURES Si(CH3)4/NH3/H2气体混合物化学气相沉积氮化硅的动力学相关领域化学气相沉积动力学氮化硅材料科学硅分析化学（期刊）化学动力学氮化物沉积（地质）物理化学化学纳米技术环境化学光电子学物理图层（电子）沉积物古生物学生物量子力学
网址	https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989555
DOI	10.1051/jphyscol:1989555 doi
其它	期刊：Le Journal de Physique Colloques 作者：Nicolas Roels; T. LECOINTE; René Guinebretière; J. Desmaison 出版日期：1989-05-01
求助人	科里斯皮尔在 2025-10-29 07:15:15 发布自上海，悬赏 50 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 英属维尔京群岛完成签到，获得积分10

刚刚; 大个的应助被科研通管家采纳，获得10

1秒前; 哆啦的空间站的应助被科研通管家采纳，获得10

1秒前; 善学以致用的应助被科研通管家采纳，获得10

1秒前; 浮游的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 禾苗完成签到，获得积分10

2秒前; 爱吃烧鸭粉的小哥哥完成签到，获得积分10

2秒前; 万能图书馆的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 田様的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 852的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 小林同学0219完成签到，获得积分10

3秒前; 知止完成签到，获得积分10

3秒前; 土豪的摩托完成签到，获得积分10

4秒前; aaa5a123完成签到，获得积分10

4秒前; 伯爵完成签到，获得积分10

4秒前; 天天快乐上传了应助文件

5秒前; zhangjianzeng完成签到，获得积分10

5秒前; dd完成签到，获得积分10

5秒前; 个性宝川发布了新的文献求助10

6秒前; sweet完成签到，获得积分10

7秒前; 我是老大的应助被mark163采纳，获得10

7秒前; 西吴完成签到，获得积分10

7秒前; 晁子枫完成签到，获得积分10

7秒前; 李健的应助被凶狠的半山采纳，获得10

7秒前; Ashley发布了新的文献求助10

9秒前; bae完成签到，获得积分10

11秒前; yuqinghui98完成签到，获得积分10

12秒前; 哈哈哈哈完成签到，获得积分0

12秒前; 胡国伦完成签到，获得积分10

12秒前; 浮游上传了应助文件

12秒前; xwwx完成签到，获得积分10

14秒前; bbabb完成签到，获得积分10

15秒前; 领导范儿的应助被pioneers采纳，获得10

16秒前; 深情安青上传了应助文件

17秒前; hy完成签到，获得积分10

17秒前; CucRuotThua完成签到，获得积分10

19秒前; RONG完成签到，获得积分10

19秒前; 砂狼白子发布了新的文献求助10

20秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Cowries - A Guide to the Gastropod Family Cypraeidae 1200; Handbook of Milkfat Fractionation Technology and Application, by Kerry E. Kaylegian and Robert C. Lindsay, AOCS Press, 1995 1000; Athena操作手册 500; The Affinity Designer Manual - Version 2: A Step-by-Step Beginner's Guide 500; Affinity Designer Essentials: A Complete Guide to Vector Art: Your Ultimate Handbook for High-Quality Vector Graphics 500; Optimisation de cristallisation en solution de deux composés organiques en vue de leur purification 500

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 5041846; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4272541; 关于积分的说明 13321139; 捐赠科研通 4085186; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2235017; 邀请新用户注册赠送积分活动 1242602; 关于科研通互助平台的介绍 1169370

今日热心研友

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10