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Laser reactive ablation deposition of silicon-nitride films 氮化硅薄膜的激光反应烧蚀沉积
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期刊:Applied Physics A 作者:Maria Luisa De Giorgi; G. Leggieri; A. Luches; M. Martino; A. Perrone; et al 出版日期:1995-02-01 |
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