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  A Fabrication Method for Realizing Vertically Aligned Silicon Nanowires Featuring Precise Dimension Control 一种实现尺寸精确控制的垂直排列硅纳米线的制造方法
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深反应离子刻蚀
制作
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期刊：Sensors 作者：Sourav Mukherjee; Mohannad Y. Elsayed; Hani H. Tawfik; Mourad N. El-Gamal 出版日期：2024-11-06 |
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