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标题
[高分] Heat and mass transfer during producing silicon layers by chloride LPCVD process
相关领域
传质 硅 化学气相沉积 材料科学 化学工程 过程（计算） 传热 化学 纳米技术 冶金 热力学 色谱法 计算机科学 工程类 物理 操作系统
网址
https://doi.org/10.1051/jp4:2001321
DOI
10.1051/jp4:2001321 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：В. Г. Минкина
出版日期：2001-08-01
求助人
无情修杰 在 2025-10-13 17:33:17 发布自湖北，悬赏 50 积分
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