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 Etching damage induced performance degradation in spin transfer torque magnetic random access memory fabrication 相关领域
无定形固体
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Shuguang Wang; Zhenghu Zuo; Zhenghui Ji; Xiaorui Chen; Hui Ye; et al 出版日期：2021-09-01 |
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