| 标题 |
 Investigation of Optimum Deposition Conditions of Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering of Al0.7Sc0.3N Film with Thickness down to 20 nm 相关领域
材料科学
铁电性
矫顽力
溅射
结晶度
分析化学（期刊）
复合材料
溅射沉积
薄膜
电介质
凝聚态物理
纳米技术
光电子学
色谱法
物理
化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Advanced electronic materials 作者：Seung Kyu Ryoo; Kyung Do Kim; Hyeon Woo Park; Yong Bin Lee; Suk Hyun Lee; et al 出版日期：2022-09-02 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
呵呵呵
v0id
xing_xing
ZHAO
Nole
DOC_XIONG
DW
无极微光
共产主义战士
李蕙芯
Dean
dde
纯情的阁
GG
OK
渡人舟
七听
初景
aaaa
皖公网安备34019202002308
