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 Enhanced ferroelectric and dielectric performance of ultrathin Hf0.5Zr0.5O2 films via high-pressure annealing followed by vacuum annealing 相关领域
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期刊：Acta Materialia 作者：Hong Zhu; Zeyu Guan; Zhengxu Zhu; Xinzhe Du; Shan Shen; et al 出版日期：2026-03-01 |
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