发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
已关闭
  • 文献求助详情
标题
Novel diffraction based overlay metrology utilizing phase-based overlay for improved robustness
网址
https://doi.org/10.1117/12.2584759
DOI
10.1117/12.2584759 doi
其它 期刊：Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV
作者：Masazumi Matsunobu; Toshiharu Nishiyama; michio Inoue; Richard Housley; Cornel Bozdog; et al
出版日期：2021
求助人
qizhang 在 2026-05-28 11:50:01 发布自中国香港，悬赏 20 积分
下载
上个求助
下个求助
提交工单
求助 / 应助时间线

  • 6天前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

    说明 求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】

  • 11天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    11:50:06 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    11:50:03 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    11:50:01 已向机器人发送请求

  • 11天前

    qizhang qizhang Lv4 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
cdercder的应助被白华苍松采纳，获得10
25秒前
FashionBoy的应助被Jodie采纳，获得30
30秒前
朴素的语兰完成签到，获得积分10
31秒前
55秒前
Jodie发布了新的文献求助30
58秒前
1分钟前
一一发布了新的文献求助10
1分钟前
文静依萱完成签到，获得积分10
1分钟前
陶醉之柔完成签到，获得积分10
2分钟前
大胆的大楚完成签到，获得积分10
2分钟前
怡然碧空完成签到，获得积分10
3分钟前
香蕉觅云的应助被酱油C采纳，获得10
3分钟前
Imran完成签到，获得积分10
4分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得20
4分钟前
4分钟前
酱油C发布了新的文献求助10
4分钟前
酷酷的雨完成签到，获得积分10
4分钟前
Daria完成签到 ，获得积分10
4分钟前
隐形大地完成签到，获得积分10
5分钟前
单薄的钥匙完成签到，获得积分10
6分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得30
6分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
6分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
6分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
6分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
6分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
6分钟前
可爱的新儿完成签到，获得积分10
6分钟前
姚老表发布了新的文献求助110
6分钟前
羞涩的烨华完成签到，获得积分10
7分钟前
androabo完成签到，获得积分10
7分钟前
bkagyin的应助被androabo采纳，获得10
7分钟前
7分钟前
美丽的迎蕾完成签到，获得积分10
7分钟前
in发布了新的文献求助10
7分钟前
7分钟前
HFH的应助被科研通管家采纳，获得10
8分钟前
8分钟前
生动盼兰完成签到，获得积分10
8分钟前
唠叨的绣连完成签到，获得积分10
9分钟前
9分钟前
高分求助中
Adhesion Science: Principles & Practice 1234
Cold War Transcended: Australia's China Policy, 1949-1990 998
Signals, Systems, and Signal Processing 610
Fundamentals of Pharmaceutical and Biologics Regulations: A Global Perspective, Second Edition 600
Testimonial Injustice and Trust 510
Burger's Medicinal Chemistry and Drug Discovery 400
Fundamentals of Body MRI 3rd Edition 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 6635872
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8394802
关于积分的说明 17952559
捐赠科研通 5819902
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2966393
邀请新用户注册赠送积分活动 1941458
关于科研通互助平台的介绍 1855021
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通