Optical characterization of sputtered amorphous aluminum nitride thin films by spectroscopic ellipsometry

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标题	Optical characterization of sputtered amorphous aluminum nitride thin films by spectroscopic ellipsometry
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002230930...
DOI	10.1016/j.jnoncrysol.2005.08.009 doi
其它	期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Jebreel M. Khoshman; Martin E. Kordesch 出版日期：2005-09-20
求助人	如意的冰双在 2026-03-22 23:11:15 发布自福建，悬赏 10 积分
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