Diaphragm design guidelines and an optical pressure sensor based on MEMS technique

已完结

文献求助详情

标题	Diaphragm design guidelines and an optical pressure sensor based on MEMS technique
网址	https://doi.org/10.1016/j.mejo.2005.06.015
DOI	10.1016/j.mejo.2005.06.015 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Xiaodong Wang; Baoqing Li; Onofrio L. Russo; Harry T. Roman; Ken K. Chin; Kenneth R. Farmer 出版日期：2006
求助人	LiHuiwang 在 2026-04-22 18:50:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 殷勤的不弱发布了新的文献求助10

刚刚; Faier完成签到，获得积分10

29秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

32秒前; 壮观可仁发布了新的文献求助10

36秒前; 石中酒完成签到，获得积分10

48秒前; 周城驳回了小蘑菇的应助

49秒前; 科研通管家关闭了bobo的文献求助

53秒前; KKKKKkkk完成签到，获得积分10

54秒前; Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10

54秒前; molihuakai的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; 小二郎的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; 深情安青的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; 华仔的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.2的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; orixero的应助被KKKKKkkk采纳，获得10

1分钟前; SS完成签到，获得积分0

1分钟前; nicai完成签到，获得积分10

1分钟前; SciGPT的应助被初景采纳，获得30

1分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

2分钟前; 殷勤的不弱发布了新的文献求助10

2分钟前; lsl完成签到，获得积分10

2分钟前; BillyCHEN完成签到，获得积分10

2分钟前; Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; Owen的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 满意的伊完成签到，获得积分10

3分钟前; GingerF的应助被Yiphy采纳，获得100

3分钟前; xiaolizi的应助被Victor采纳，获得50

3分钟前; qqq驳回了helicron的应助

3分钟前; 柯擎汉完成签到，获得积分10

3分钟前; yyywwxx完成签到，获得积分10

4分钟前; GingerF的应助被你嵙这个期刊没买采纳，获得50

4分钟前; GingerF的应助被你嵙这个期刊没买采纳，获得50

4分钟前; 小蘑菇上传了应助文件

4分钟前; CayCay完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

4分钟前; SciGPT上传了应助文件

4分钟前; 周城发布了新的文献求助30

4分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

4分钟前; 初景发布了新的文献求助30

4分钟前