Diaphragm design guidelines and an optical pressure sensor based on MEMS technique

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标题	Diaphragm design guidelines and an optical pressure sensor based on MEMS technique
网址	https://doi.org/10.1016/j.mejo.2005.06.015
DOI	10.1016/j.mejo.2005.06.015 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Xiaodong Wang; Baoqing Li; Onofrio L. Russo; Harry T. Roman; Ken K. Chin; Kenneth R. Farmer 出版日期：2006
求助人	LiHuiwang 在 2026-04-22 18:50:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
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