Mechanism of indium tin oxide//indium tin oxide direct wafer bonding - 科研通

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标题	Mechanism of indium tin oxide//indium tin oxide direct wafer bonding
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.137964
DOI	10.1016/j.tsf.2020.137964 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Michael Hönle; Peter Oberhumer; Kurt Hingerl; Thorsten Wagner; Sophia Huppmann; et al 出版日期：2020-03-19
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