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A high coupling-efficiency actuator fabricated by a wafer level piezoelectric MEMS process with optimized multilayers and improved thermal budget
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/ae4b4a
DOI
10.1088/1361-6439/ae4b4a doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Aocheng Bao; Chong Yang; Bowen Sheng; Haixia Zhang; Dunshan Yu; et al
出版日期：2026-02-27
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靓丽早晨 在 2026-07-13 16:52:55 发布自山东，悬赏 10 积分
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