Advancing EUV Patterning: Innovations in Resist Platforms, Patterning Strategies, and Computational Approaches

已完结

文献求助详情

标题	Advancing EUV Patterning: Innovations in Resist Platforms, Patterning Strategies, and Computational Approaches
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemrev.5c01043
DOI	10.1021/acs.chemrev.5c01043 doi
其它	期刊：Chemical Reviews 作者：Madan R. Biradar; Gokhan Sagdic; Chenyun Yuan; Rika Marui; Christopher Kemper Ober 出版日期：2026-04-14
求助人	酷炫念柏在 2026-07-29 20:48:39 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 尹小青完成签到，获得积分10

8秒前; chichenglin完成签到，获得积分10

9秒前; zxdw完成签到，获得积分10

18秒前; 打打上传了应助文件

22秒前; 飞飞发布了新的文献求助20

30秒前; 111完成签到，获得积分10

39秒前; 科研通AI6.2的应助被飞飞采纳，获得30

39秒前; 无限的画板完成签到，获得积分10

40秒前; FashionBoy的应助被zsy采纳，获得10

41秒前; changyouhuang完成签到，获得积分10

46秒前; Jayzie完成签到，获得积分0

55秒前; 胡萝卜不吃皮完成签到，获得积分10

1分钟前; 会飞的柯基完成签到，获得积分10

1分钟前; turtle85完成签到，获得积分10

1分钟前; SJD完成签到，获得积分0

1分钟前; yuntong完成签到，获得积分0

1分钟前; T_MC郭完成签到，获得积分10

1分钟前; 孙老师完成签到，获得积分10

1分钟前; 南风完成签到，获得积分10

1分钟前; wood完成签到，获得积分10

1分钟前; Sean完成签到，获得积分10

2分钟前; crz完成签到，获得积分10

2分钟前; 小白龙完成签到，获得积分10

2分钟前; 知行者完成签到，获得积分10

2分钟前; Java完成签到，获得积分0

2分钟前; 西柚柠檬完成签到，获得积分10

2分钟前; natus完成签到，获得积分10

2分钟前; 老才完成签到，获得积分10

2分钟前; ChatGPT发布了新的文献求助10

2分钟前; 开朗满天完成签到，获得积分10

2分钟前; FashionBoy上传了应助文件

2分钟前; zsy发布了新的文献求助10

2分钟前; Kao的应助被淡淡的秋天采纳，获得10

2分钟前; 清新的戎完成签到，获得积分10

2分钟前; 阿胡完成签到，获得积分10

2分钟前; 一叶舟完成签到，获得积分10

3分钟前; ChatGPT发布了新的文献求助10

3分钟前; 驰名野人完成签到，获得积分10

3分钟前; zsy完成签到，获得积分10

3分钟前; ChatGPT发布了新的文献求助10

3分钟前