A 915 MHz/75 kW cylindrical cavity type microwave plasma chemical vapor deposition reactor with a ladder-shaped circumferential antenna developed for growing large area diamond films

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标题	A 915 MHz/75 kW cylindrical cavity type microwave plasma chemical vapor deposition reactor with a ladder-shaped circumferential antenna developed for growing large area diamond films
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2017.08.007
DOI	10.1016/j.diamond.2017.08.007 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：Y.F. Li; X.M. An; X.C. Liu; L. Jiang; P.W. Zhang; et al 出版日期：2017
求助人	一心怡意在 2026-06-25 16:16:58 发布自山东，悬赏 10 积分
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