Defect reduction in SiC epilayers by different substrate cleaning methods

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标题	Defect reduction in SiC epilayers by different substrate cleaning methods
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106414
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106414 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Daniel Baierhofer; Bernd Thomas; F. Staiger; Barbara Marchetti; Christiane Förster; et al 出版日期：2021-12-20
求助人	lenny 在 2026-08-06 00:54:52 发布自浙江，悬赏 10 积分
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