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标题
Characterizations of Pulsed Chemical Vapor Deposited-Tungsten Thin Films for Ultrahigh Aspect Ratio W-Plug Process
网址
https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/1.18973...
DOI
10.1149/1.1897355 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：Soo‐Hyun Kim; E. Hwang; Seung-chul Ha; S. Pyi; Ho-Jung Sun; et al
出版日期：2005-06-01
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chanyelo 在 2026-08-04 15:44:43 发布自上海，悬赏 10 积分
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