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标题
Theory and molecular simulations of plasma sputtering, transport and deposition processes
等离子体溅射、传输和沉积过程的理论和分子模拟
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DOI
10.1140/epjd/s10053-023-00592-x doi
其它 期刊:European Physical Journal D
作者:Pascal Brault; Anne-Lise Thomann; Marjorie Cavarroc
出版日期:2023-02-01
求助人
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