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Ion-assisted growth of Ti1−xAlxN/Ti1−yNbyN multilayers by combined cathodic-arc/magnetron-sputter deposition
Ti1-xAlxN/Ti1-yNbyN多层膜的离子辅助阴极弧/磁控溅射沉积
相关领域
微晶 材料科学 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 无定形固体 溅射沉积 微观结构 分析化学（期刊） 图层（电子） 沉积（地质） 基质（水族馆） 溅射 冶金 薄膜 复合材料 结晶学 化学 纳米技术 生物 海洋学 色谱法 地质学 古生物学 沉积物
网址
http://dx.doi.org/10.1016/S0040-6090(96)09524-7
DOI
10.1016/S0040-6090(96)09524-7 doi
求助人
安小野 在 2025-05-12 14:50:48 发布自安徽，悬赏 10 积分
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