Low-temperature direct bonding of SiC and Ga2O3 substrates under atmospheric conditions

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标题	Low-temperature direct bonding of SiC and Ga2O3 substrates under atmospheric conditions 大气条件下低温直接键合SiC和Ga2 O3基片相关领域氢氟酸材料科学无定形固体氧化剂直接结合晶片键合图层（电子）氧化物化学键表面改性化学工程薄脆饼退火（玻璃）纳米技术复合材料化学冶金结晶学有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1063/5.0057960
DOI	10.1063/5.0057960 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Takashi Matsumae; Yuichi Kurashima; Hideki Takagi; Hitoshi Umezawa; Eiji Higurashi 出版日期：2021-08-25
求助人	迷失的悠悠在 2024-10-14 21:57:52 发布自天津，悬赏 10 积分
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