Raman scattering monitoring of thin film materials for atomic layer etching/deposition in the nano-semiconductor process integration

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标题	Raman scattering monitoring of thin film materials for atomic layer etching/deposition in the nano-semiconductor process integration
网址	https://doi.org/10.1063/5.0147685
DOI	10.1063/5.0147685 doi
其它	期刊：Chemical Physics Reviews 作者：Jae Bin Kim; Dae Sik Kim; Jin Seok Kim; Jin Hyun Choe; Da Won Ahn; et al 出版日期：2023
求助人	李喵喵在 2026-01-29 16:37:03 发布自浙江，悬赏 10 积分
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