Plasma-enhanced chemical vapor deposition of high-quality silica films for advanced optical applications - 科研通

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标题	Plasma-enhanced chemical vapor deposition of high-quality silica films for advanced optical applications 用于高级光学应用的高质量二氧化硅薄膜的等离子体增强化学气相沉积
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s41467-021-24789-5
DOI	10.1038/s41467-021-24789-5 doi
求助人	怕孤单的土豆在 2025-12-22 14:27:52 发布自中国，悬赏 10 积分
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