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Charge trapping effect in HfO2-based high-k gate dielectric stacks after heavy ion irradiation: The role of oxygen vacancy
网址
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.09.009
DOI
10.1016/j.nimb.2019.09.009 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
作者：Zongzhen Li; Tianqi Liu; Jinshun Bi; Huijun Yao; Zhenxing Zhang; et al
出版日期：2019
求助人
Ahan 在 2026-05-08 17:26:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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