Diagnostics of chlorine inductively coupled plasmas. Measurement of electron temperatures and electron energy distribution functions

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标题	Diagnostics of chlorine inductively coupled plasmas. Measurement of electron temperatures and electron energy distribution functions
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/87/4/1642/18979675/...
DOI	10.1063/1.372072 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：M. V. Malyshev; V. M. Donnelly 出版日期：2002-07-26
求助人	ihgvbb 在 2026-04-14 17:02:11 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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