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  Control of Bowing in Free-standing GaN Substrate by Using Selective Etching of N-polar Face 相关领域
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期刊：Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 作者：Jinwon Gim; Hoki Son; Tea-Young Lim; Mijai Lee; Jinho Kim; et al 出版日期：2016-01-01 |
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