Investigating the mechanism of enhancing interfacial adhesion of SiOx films on GaAs substrates through process optimization

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标题	Investigating the mechanism of enhancing interfacial adhesion of SiOx films on GaAs substrates through process optimization 通过工艺优化研究提高GaAs衬底上SiOx薄膜界面附着力的机理相关领域粘附机制（生物学）材料科学过程（计算）纳米技术化学工程化学复合材料计算机科学工程类物理量子力学操作系统
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140530
DOI	10.1016/j.tsf.2024.140530 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Zhiwei He; Jiuru Gao; Chanjuan Liu; Zichao Li; Kaidong Xu; et al 出版日期：2024-09-13
求助人	2222222 在 2025-07-18 09:21:55 发布自广东，悬赏 10 积分
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