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 Innovations in Polyurethane Pads Used in Chemical-Mechanical Planarization: A Perspective and Future Directions 用于化学机械平坦化的聚氨酯垫的创新：前景和未来方向
相关领域
化学机械平面化
材料科学
透视图（图形）
聚氨酯
纳米技术
工程物理
工程伦理学
复合材料
工程类
计算机科学
人工智能
图层（电子）
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Zinnat Morsada; Harini Bhuvaneswari Gunasekaran; Nikunjkumar Visaveliya; Devon A. Shipp 出版日期：2025-05-13 |
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