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Enhancement of Resist Removal Rate for Ethylene Carbonate Solution by Ethylene Glycol Blending 相关领域
乙二醇
抵抗
碳酸乙烯酯
乙烯
材料科学
碳酸盐
化学工程
高分子化学
化学
有机化学
纳米技术
催化作用
物理化学
电解质
冶金
工程类
图层(电子)
电极
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| DOI |
10.1295/koron.69.528
doi
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| 其它 |
期刊:KOBUNSHI RONBUNSHU 作者:Yasutaka SASAKI; Akihiko KONO; Hirofumi OTSUBO; Motonori YANAGI; Hideo HORIBE 出版日期:2012-09-25 |
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