A Back Illuminated 10μm SPAD Pixel Array Comprising Full Trench Isolation and Cu-Cu Bonding with Over 14% PDE at 940nm

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标题	A Back Illuminated 10μm SPAD Pixel Array Comprising Full Trench Isolation and Cu-Cu Bonding with Over 14% PDE at 940nm
网址	http://dx.doi.org/10.1109/iedm13553.2020.9371944
DOI	10.1109/iedm13553.2020.9371944 doi
其它	期刊：2020 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 作者：K. Ito; Y. Otake; Y. Kitano; A. Matsumoto; J. Yamamoto; et al 出版日期：2020-12-12
求助人	堪诗筠在 2026-09-22 20:56:02 发布自上海，悬赏 10 积分
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