Chemical vapor deposition growth of β ‐ Ga 2 O 3 on Si- and C- face off-axis 4H–SiC at high temperature

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标题	Chemical vapor deposition growth of β ‐ Ga 2 O 3 on Si- and C- face off-axis 4H–SiC at high temperature
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107968
DOI	10.1016/j.mssp.2023.107968 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Fatih Akyol; Hamdin Ozden 出版日期：2023-11-15
求助人	繁星在 2026-10-25 20:05:16 发布自福建，悬赏 10 积分
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