Mode-Localized uniaxial MEMS accelerometer with tunable sensitivity

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标题	Mode-Localized uniaxial MEMS accelerometer with tunable sensitivity
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1402-4896/ae9999
DOI	10.1088/1402-4896/ae9999 doi
其它	期刊：Physica Scripta 作者：Ming Lyu; Zhikun Zha; Yanmin Zhang; Bingchang Ren; Yuheng Quan; et al 出版日期：2026-08-24
求助人	kai 在 2026-10-23 14:57:04 发布自浙江，悬赏 10 积分
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