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标题
Efficient level-set based mask optimization with a vector imaging model
基于水平集的矢量成像模型掩模优化
相关领域
浸没式光刻 计算机科学 光学接近校正 平版印刷术 抵抗 光刻 光学 算法 物理 材料科学 图层(电子) 复合材料
网址
DOI
10.1117/12.2297273 doi
其它 期刊:
作者:Yongming Shen
出版日期:2018-03-20
求助人
LW97 在 2024-04-18 13:41:09 发布自上海,悬赏 20 积分
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