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Inductively coupled plasma etch damage in (-201) Ga2O3 Schottky diodes
(-201)Ga2O3肖特基二极管的电感耦合等离子体刻蚀损伤
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期刊:Applied physics letters 作者:Jiancheng Yang; Shihyun Ahn; F. Ren; Raghav Khanna; Kristen Bevlin; et al 出版日期:2017-04-03 |
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