Low-Loss Slot Waveguides with Silicon (111) Surfaces Realized Using Anisotropic Wet Etching

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标题	Low-Loss Slot Waveguides with Silicon (111) Surfaces Realized Using Anisotropic Wet Etching
网址	http://journal.frontiersin.org/article/10.3389/fmats.2016.00...
DOI	10.3389/fmats.2016.00051 doi
其它	期刊：Frontiers in Materials 作者：Kapil Debnath; Ali Z. Khokhar; Stuart A. Boden; Hideo Arimoto; Swe Zin Oo; et al 出版日期：2016-11-22
求助人	Quenchingstar 在 2026-09-04 10:41:42 发布自江苏，悬赏 10 积分
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