Aging behavior of perfluorinated elastomer (FFKM) in the SC1 solution used in the semiconductor wet etching process

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标题	Aging behavior of perfluorinated elastomer (FFKM) in the SC1 solution used in the semiconductor wet etching process
网址	https://doi.org/10.1016/j.polymdegradstab.2025.111454
DOI	10.1016/j.polymdegradstab.2025.111454 doi
其它	期刊：Polymer Degradation and Stability 作者：Qishan Chen; Fandi Meng; Tao Zhang; Li Liu 出版日期：2025-05-28
求助人	勇yi 在 2026-08-04 10:43:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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