Numerical investigation of rotating flow suction effects on transport phenomena in polysilicon chemical vapor deposition

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标题	Numerical investigation of rotating flow suction effects on transport phenomena in polysilicon chemical vapor deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.csite.2026.108059
DOI	10.1016/j.csite.2026.108059 doi
其它	期刊：Case Studies in Thermal Engineering 作者：Zhihong Li; Hongxing He; Yi Zhang; Enrui Dai; Ni Yang; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	manying 在 2026-08-28 11:46:26 发布自天津，悬赏 10 积分
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