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Two-dimensional crystalline hard masks for high-aspect-ratio nanofabrication
网址
https://doi.org/10.1038/s41563-026-02524-7
DOI
10.1038/s41563-026-02524-7 doi
其它 期刊：Nature Materials
作者：Pranavram Venkatram; Ziheng Chen; Krishnendu Mukhopadhyay; Bob Hengstebeck; Lei Ding; et al
出版日期：2026-03-10
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调皮的夜绿 在 2026-07-13 16:21:33 发布自浙江，悬赏 10 积分
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