Photo-triggering and secondary electron produced ionization in electric discharge ArF* excimer lasers

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标题	Photo-triggering and secondary electron produced ionization in electric discharge ArF* excimer lasers
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.3644953
DOI	10.1063/1.3644953 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Zhongmin Xiong; Mark J. Kushner 出版日期：2011-10-15
求助人	pickle 在 2026-09-04 17:33:49 发布自陕西，悬赏 10 积分
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