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 Effect of Substrate Bias Voltage on Infrared Characteristics of TiN Films 衬底偏压对TiN薄膜红外特性的影响
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期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Linlin Lu; Jie Xu; Yi Liu; Xiaolei Su; Chunfang Ma; et al 出版日期：2022-10-11 |
| 求助人 |
WalterWhite
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