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标题
The influence of defects and postdeposition treatments on the free carrier density in lightly phosphorus-doped large-grained polycrystalline silicon films
缺陷和沉积后处理对轻掺磷大晶粒多晶硅薄膜自由载流子密度的影响
相关领域
材料科学 兴奋剂 退火（玻璃） 多晶硅 硅 微晶 电阻率和电导率 活化能 分析化学（期刊） 带隙 光电子学 复合材料 冶金 薄膜晶体管 化学 电气工程 物理化学 工程类 图层（电子） 色谱法
网址
https://doi.org/10.1063/1.1977197
DOI
10.1063/1.1977197 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：A. Straub; Daniel Inns; Mason L. Terry; R. Gebs; Armin G. Aberle
出版日期：2005-07-15
求助人
张丹阳 在 2025-05-25 16:08:04 发布自陕西，悬赏 20 积分
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