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 Study of the surface chemistry, surface morphology, optical, and structural properties of InGaN thin films deposited by RF magnetron sputtering 射频磁控溅射InGaN薄膜的表面化学、表面形貌、光学和结构性能的研究
相关领域
X射线光电子能谱
薄膜
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光致发光
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微晶
溅射
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期刊：Applied Surface Science 作者：D.A. Granada-Ramírez; A. Pulzara-Mora; C.A. Pulzara-Mora; A. Pardo-Sierra; J.A. Cardona-Bedoya; et al 出版日期：2022-02-01 |
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