Thickness and Uniformity Modeling of the Deposition of Shape Memory Polymers for Information Storage Applications

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标题	Thickness and Uniformity Modeling of the Deposition of Shape Memory Polymers for Information Storage Applications
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/4519622/4528988/04529015...
DOI	10.1109/asmc.2008.4529015 doi
其它	期刊：2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 作者：E. Wornyo; Ken Gall; G. S. May 出版日期：2008-05-05
求助人	BBKK 在 2026-10-31 13:37:25 发布自山东，悬赏 10 积分
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