压电驱动纳米定位器中的位移放大和差分驱动

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文献求助详情

标题	压电驱动纳米定位器中的位移放大和差分驱动
网址	Mechanical Systems and Signal Processing
DOI	10.1016/j.ymssp.2020.107356 doi
求助人	摘星在 2026-10-19 23:42:54 发布自中国，悬赏 10 积分
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International Society for Optics and Photonics (SPIE)

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