Two-dimensional fluid simulation of a radio frequency capacitively coupled plasma in SiH4/N2/O2

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标题	Two-dimensional fluid simulation of a radio frequency capacitively coupled plasma in SiH4/N2/O2
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.5008586
DOI	10.1063/1.5008586 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Wen-Zhu Jia; Rui-Qiang Liu; Xi-Feng Wang; Xiang-Mei Liu; Yuan-Hong Song; et al 出版日期：2018-09-01
求助人	归尘在 2026-10-10 18:09:34 发布自安徽，悬赏 10 积分
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