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 Tunable MEMS Fabry-Pérot filters for infrared microspectrometers: a review 用于红外微光谱仪的可调谐微机电法布里-佩罗滤光片：综述
相关领域
法布里-珀罗干涉仪
分光计
小型化
红外线的
微电子机械系统
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材料科学
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光电子学
光学
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期刊：Proceedings of SPIE 作者：Martin Ebermann; Norbert Neumann; Karla Hiller; Mario Seifert; Marco Meinig; et al 出版日期：2016-03-15 |
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