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 Influence of Substrate Temperature on the TiC Thin Films Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering Method 衬底温度对非平衡磁控溅射TiC薄膜的影响
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期刊：The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers 作者：Yong-Seob Park; Jaehyeong Lee 出版日期：2013-02-01 |
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