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[高分] Influence of Substrate Temperature on the TiC Thin Films Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering Method
衬底温度对非平衡磁控溅射TiC薄膜的影响
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网址
https://doi.org/10.5370/kiee.2013.62.2.284
DOI
10.5370/kiee.2013.62.2.284 doi
其它 期刊：The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers
作者：Yong-Seob Park; Jaehyeong Lee
出版日期：2013-02-01
求助人
mcy 在 2025-09-23 07:38:54 发布，悬赏 150 积分
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