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 From Self-Organization of Monoatomic Steps on the Silicon Surface to Subnanometer Metrology 从硅表面单原子台阶的自组织到亚纳米计量
相关领域
单原子气体
纳米技术
硅
计量学
材料科学
化学
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光学
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期刊：Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing 作者：D. V. Sheglov; S. V. Sitnikov; Л. И. Федина; Д. И. Рогило; А. С. Кожухов; et al 出版日期：2020-09-01 |
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