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 A Novel Two‐Step Ammonia‐Free Atomic Layer Deposition Approach for Boron Nitride 氮化硼的两步无氨原子层沉积新方法
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期刊：ChemNanoMat (Weinheim) 作者：Wenjun Hao; Catherine Marichy; Catherine Journet; Arnaud Brioude 出版日期：2017-08-22 |
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