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Real-time and high-resolution absolute-distance measurement using a two-wavelength superheterodyne interferometer
双波长超外差干涉仪实时高分辨率绝对距离测量
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期刊:Measurement science & technology 作者:Shuko Yokoyama; Jun Ohnishi; Shigeo Iwasaki; Katuo Seta; Hirokazu Matsumoto; et al 出版日期:1999-11-24 |
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